型号

TOB-DSP-1200℃-PECVDS转弯式真空管式炉

功率

3.5KW

炉管尺寸(mm)

Dia 60(OD) X1200mm

尺寸

1300X420X1200

电源电压

220V

相位数

单相

温控方式

30段只能用PID调温；；；；；FP93温控(更换进口仪器，，，，，，，需另加费用)；；；；；40段程序温控可分为4、2、1组程序；；；；；如果将程序分为4组，，，，，，，每组程序段为10个；；；；；6组PID控制，，，，，，，低、中、高温可各配一套PID；；；；；这样，，，，，，，每个程序段都能很准确地控制温度。。。。。。。。

触发器

相移式触发器

SCR

106 / 16E 德国 Simon Kang

最高温度

1200℃

额定温度

1100℃

加热长度

≤30℃/分钟（可根据要求修改）

控制精度

+/- 1 ℃

建议加热速率

≤15℃/Min

加热长度

400mm

热电偶类型

K型

认证

CE

周围表面温度

≤45℃

转动电机功率

40W

电动推杆功率

40W

炉体可倾斜角度

-10~30度

管子旋转速度

无级变速电机速度可在1-25转/分钟内调节

等离子体射频功率

功率输出范围

0-500W

最大反射功率

10W

信号频率

13.56MHZ ± 0.005%

噪声

<30 dB

冷却方式

空气冷却

输入功率

208-240V 50/60HZ

GX供电系统 主要参数

标椎范围

质子流控制器5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM,1,2,3,5,10SLM

(你可以选择任何刻度)

准确度

± 1.5%

压降

<0.01MPa

重复性

±0.2% F.S

最大工作压力

3MP

VS-0.1排气系统

电源

220V/380V 380W

泵送速度

2L/S

电阻式真空计

ZDR-I

真空测量范围

0.1-10 5 Pa

真空泵

VRD-8

波纹管

KF25X1000mm

真空系统

10-1Pa